Microscopio electrónico de varrido
From Wikipedia, the free encyclopedia
Un microscopio electrónico de varrido[1] (MEV ou, en inglés, SEM, de scanning electron microscope) é un tipo de microscopio electrónico que produce imaxes dunha mostra varrendo (escaneando) a súa superficie cun feixe de electróns enfocado. Os electróns interacionan cos átomos da mostra, producindo varios sinais que conteñen información sobre a topografía da superficie e composición da mostra. O feixe de electróns escanea nun modo raster (trama de mapa de bits) e a posición do feixe está combinada coa intensidade do sinal detectado para producir unha imaxe. No modo de MEV máis común, os electróns secundarios emitidos por átomos excitados polo feixe de electróns detéctanse usando un detector de electróns secundarios (detector Everhart–Thornley). O número de electróns secundarios que se pode detectar e así a intensidade do sinal, depende, entre outras cousas, da topografía do espécime observado. Algúns MEVs poden acadar resolucións de menos dun nanómetro.
Os espécimes obsérvanse en alto baleiro no MEV convencional, ou en baixo baleiro ou condicións húmidas no MEV ambiental ou de presión variable, e nun amplo rango de temperaturas crioxénicas ou elevadas con instrumentos especializados.[2]