Excimerlézer
From Wikipedia, the free encyclopedia
Az excimerlézer a kémiai lézerek egyik típusa, mely koherens UV-nyalábot állít elő. Alkalmazása az iparban igen elterjedt, fontos eszköz a mikrotechnikában, az integrált áramkörök gyártása során, és a modern TFT-gyárakban. Az excimerlézer a nevét az excimerekről, azaz gerjesztett dimerekről kapta.