Skenirajući elektronski mikroskop

Skenirajući elektronski mikroskop (SEM) je vrsta elektronskog mikroskopa^[1] koji proizvodi slike uzorka skeniranjem površine fokusiranim snopom elektrona.^[2] Elektroni stupaju u interakciju s atomima u uzorku, proizvodeći različite signale koji sadrže informacije o topografiji površine i sastavu uzorka. Elektronski snop se skenira u rasterskom uzorku skeniranja, a položaj snopa se kombinuje sa intenzitetom detektovanog signala kako bi se dobila slika. U najčešćem SEM modu, sekundarni elektroni koje emituju atomi pobuđeni elektronskim snopom detektuju se pomoću sekundarnog detektora elektrona (Everhart-Thornley detektor ). Broj sekundarnih elektrona koji se mogu detektovati, a samim tim i intenzitet signala, zavise, između ostalog, od topografije uzorka. Neki SEM-ovi mogu postići rezolucije veće od 1 nanometra.

Slika polenovih zrna snimljena na SEM-u pokazuje karakterističnu dubinu polja za SEM mikrografije

M. von Ardenneov prvi SEM

Princip rada skenirajućeg elektronskog mikroskopa (SEM)

SEM sa otvorenom komorom za uzorke

Uzorci se posmatraju u visokom vakuumu u konvencionalnom SEM-u, ili u niskom vakuumu ili vlažnim uslovima u promjenljivom pritisku ili SEM-u okoline, i pri širokom rasponu kriogenih ili povišenih temperatura sa specijalizovanim instrumentima.^[3]