Sistema microelectromecànic

Un Sistema microelectromecànic (MEMS acrònim anglès) és un sistema de tecnologia de dispositius microscòpics amb components entre 1 i 100 micròmetres, integrats juntament amb components electrònics per a processar la informació. Aquests dispositius micromecànics poden ser palanques, molles, membranes deformables, estructures vibrants, etc.^[1][2]

Fig.1 Exemple de dispositiu MEMS : oscil·lador mecànic

Es poden trobar aplicacions en biomedicina, automòbil, electrònica de consum i industrial i sensòrica (sensors de força, pressió, moviment, so...) en general.^[3]

Material per a fabricar MEMS

• Silici: el més emprat en circuits electrònics.^[4]
• Polímers: materials plàstics especials.
• Metalls: s'empren or, níquel, alumini, crom, titani, plata i platí.

Procesos per a fabricar MEMS

• Procesos de deposició de pel·lícules de gruix micromètric.^[5]
• Procesos de fotolitografia de transferència d'un patró a un material fotosensible.
• Procesos de gravat de patrons mitjançants líquids i vapors químics.

Aplicacions

• Injectors MEMS piezoelèctrics per a impressores d'injecció de tinta.^[6]
• Acceleròmetres MEMS per a sistemes airbag en automòbils.
• Acceleròmetres MEMS per telèfons mòbils, cònsoles de joc, càmares de fotografia.
• Giroscopi MEMS per a detectar orientacions.
• Sensors de pressió MEMS en múltiples aplicacions : pressió atmosfèrica, pressió pneumàtics, pressió arterial...
• Micromiralls MEMS per a projectors d'imatges o vídeo.
• Punts MEMS per a pantalles de visualització.
• Sensor de pressió sonora per a micròfons de telèfons mòbils i similars.
• Oscil·ladors MEMS per a patrons de rellotge.
• Actuador lineal MEMS per a sistemes de posicionament.
• Sensors de gas : CO2, gasos de compostos orgànics (VOC)

Fabricants de MEMS

Més destacats a 06/04/2017:

• Micròfons de ST, kmowles, AKUSTICA, Cirrus logic, JRC, vesper
• Acceleròmetres, giroscopis i sensors inercials d'Analog devices, ST, Colibrys, maxim, Memsic
• Sensors de corrent de Memsic
• Sensors de temperatura de TI,Omron
• Càmara infrarroja d'Omron,Panasonic
• Micromiralls d'intersil,Microvision
• Oscil·ladors de sitime
• Commutadors d'Analog devices
• Detectors de gas d'ams