ساخت ادوات نیمرسانا
فرآیند ساخت برای ایجاد مدارهای مجتمع / From Wikipedia, the free encyclopedia
ساخت ادوات نیمرسانا یا ساخت افزارههای نیمرسانا (به انگلیسی: Semiconductor device fabrication) فرایندی است که برای تولید افزارههای نیمرسانا، بهطور معمول قطعات فلز-اکسید-نیمرسانا (MOS) مورد استفاده در تراشههای مدار مجتمع (IC) که در دستگاههای برقی و الکترونیکی روزمره وجود دارند، مورد استفاده قرار میگیرند. این یک توالی چند مرحلهای از مراحل پردازش طرحنگار نوری و شیمیایی (مانند غیرفعالسازی، اکسایش حرارتی، فرآیند مسطح و جدایش پیوند) است که طی آن مدارهای الکترونیکی به تدریج روی ویفر ساختهشده از ماده نیمرسانای خالص ساخته میشوند. تقریباً همیشه از سیلیکون استفاده میشود، اما نیمرساناهای مرکبِ مختلفی برای کاربردهای تخصصی مورد استفاده قرار میگیرد.
کل مراحل ساخت، از ابتدا تا تراشههای بستهبندی شده آماده برای حمل و نقل، شش تا هشت هفته به طول میانجامد و در تولیدگاه برساخت نیمرسانا بسیار تخصصی، که ریختهگری یا فَب نیز نامیده میشود، انجام میشود.[1] تمام برساخت (به انگلیسی: fabrication) در داخل اتاق تمیز، که بخش مرکزی یک فَب است، انجام میشود در افزارههای نیمرسانا پیشرفتهتر، از جمله گرههای نوین ۱۴، ۱۰ و ۷ نانومتر، برساخت میتواند تا ۱۵ هفته طول بکشد، که ۱۱ تا ۱۳ هفته میانگین صنعتی است.[2] تولید در تأسیسات برساخت پیشرفته کاملاً خودکار بوده و در یک محیط نیتروژن مهر و موم شده به منظور بهبود عملکرد (نسبت به ریزتراشهها در یک ویفر که بهطور صحیح کار میکند) انجام میشود، با سیستمهای انتقال مواد خودکار که از حمل و نقل ویفرها از دستگاهی به دستگاه دیگر مراقبت میکنند. کلیه ماشین آلات حاوی جَو داخلی اَزُت است. هوا داخل ماشین آلات معمولاً نسبت به هوای اطراف در اتاق تمیز، تمیز نگه داشته میشود. این جو داخلی بهعنوان یک خُرد-محیط شناخته میشود.[3] تولیدگاههای برساخت برای حفظ جو داخلی ماشین آلات فراورش به مقادیر زیادی اَزُت مایع نیاز دارند، که بهطور مداوم با نیتروژن پاکسازی میشود.[4]