Mikrosysteemit
From Wikipedia, the free encyclopedia
Mikrosysteemit ovat komponentteja joissa yhdistyy useita eri toiminnallisuuksia, esimerkiksi mekaanisen taipuman muuttaminen sähköiseksi signaaliksi (kuten paineanturissa tai turvatyynyn laukaisuanturissa). Mikrosysteemit tunnetaan myös amerikkalaisperäisellä 1990-luvun alussa yleistyneellä lyhenteellä MEMS (Micro Electro Mechanical Systems). Japanissa käytetään nimitystä Micromachines.
Mikrosysteemien yksittäiset rakenneosat (palkit, sillat, membraanit, peilit, kytkimet, suuttimet) ovat kooltaan mikrometrin kokoluokkaa. Itse siru voi olla muutamista sadoista mikrometreistä aina senttimetreihin asti. Kun mikrosysteemit valmistetaan piikiekolle, jotka ovat 100 mm tai 150 mm halkaisijaltaan, valmistuu kerralla satoja tai jopa tuhansia komponentteja.
Kyse on uudenlaisten toimintojen tuottamisesta mikrokomponenteissa: kun mikropiireissä on elektronisia toimintoja, MEMS-komponenteissa on yhdistetty mekaanisia, fluidistisia, optisia, akustisia, termisiä ja biologisia toimintoja. Tiukan määritelmän mukaan MEMSiltä edellytetään nimenomaan ainakin kahden erilaisen funktion yhdistämistä samaan komponenttiin.