Optique des particules chargées
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L'optique des particules chargées est l'ensemble des techniques destinées à dévier un faisceau électronique ou ionique. Le terme « optique » renvoie à l'analogie entre un rayon électronique et un rayon lumineux, avec notamment la notion de focalisation de faisceau et de lentille.
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On distingue l'optique électronique, qui concerne les faisceaux d'électrons, et l'optique ionique qui concerne les faisceaux d'ions.