リモート・プラズマ

リモート・プラズマ (またの名は、ダウンストリーム・プラズマもしくはアフターグロー・プラズマ）は、プラズマと材料の相互作用がプラズマ・アフターグロー（英語版）内のプラズマから離れた場所で発生するプラズマ処理（英語版）方法である^[1][2]。

リモート・プラズマ・システム。

関連項目

• 化学気相成長（英語版）
• コロナ処理（英語版）
• プラズマ (物理) 応用記事一覧（英語版）
• 物理気相成長（英語版）
• プラズマ活性化
• プラズマ化学（英語版）
• プラズマ洗浄（英語版）
• プラズマ活性化ボンディング（英語版）
• 反応性イオンエッチング（英語版）

• 長江メモリ
  • プラズマ活性化
    • リモート・プラズマ
  • フラッシュメモリ・コントローラ
  • 中国に対するアメリカの制裁
    • 大統領令13959
      • 大統領令14032
  • マイケル・マッコール
  • 未検証リスト