X線顕微鏡

X線顕微鏡（Xせんけんびきょう）とは、X線をプローブとして観察する顕微法の総称である。

走査型X線顕微鏡の回折パターン

菜種のX線顕微鏡画像

概要

可視光に比べて波長の短いX線を使用するため、空間分解能が高い画像を得ることができる可能性があり、注目されている。観測法としては結像型・走査型が、観測手段によりX線吸収・位相変化・蛍光X線などの利用がある。強度の強い光源が必要となるため、主にシンクロトロン放射光を利用して発達している。用いられる光学素子として最も代表的なのはゾーンプレートである。現在の分解能は 15 nm が最高値である。

用途

• 材料研究
• 生物学
• 半導体