For faster navigation, this Iframe is preloading the Wikiwand page for Immersielithografie.

Immersielithografie

Uit Wikipedia, de vrije encyclopedie

Immersielithografie is een techniek om de details, die ten behoeve van de chipsfabricage op een wafer worden geëtst, te verkleinen.

Doel

Deze techniek wordt toegepast in lithografiemachines voor de fabricage van geïntegreerde schakelingen (in de volksmond „chips”), waar een van tevoren met fotografisch materiaal behandelde siliciumplaat wordt belicht met ultraviolet licht, waarbij een patroon van lijntjes op de wafer ontstaat. Als de lijnafstand kan worden verkleind, kunnen meer elementen op de chip worden aangebracht.

Om dit te bereiken zijn twee technieken voorhanden:

  1. Gebruikmaken van licht met een kortere golflengte
  2. Gebruikmaken van een medium met een hogere brekingsindex

Gebruik van licht met een kortere golflengte vereist zeer grote veranderingen in het hele systeem, waaronder de ontwikkeling van lenzen van een ander materiaal. Dit alles vergt veel ontwikkeltijd.

Als men echter tussen de lens en het te bewerken oppervlak een laagje water aanbrengt verkrijgt men een hogere brekingsindex, wat eveneens leidt tot een kleinere lijnafstand. Hoewel ook deze techniek haar complicaties kent, is ze in kortere tijd te ontwikkelen en betreffen de veranderingen in het proces slechts een beperkt aantal onderdelen van de lithografiemachine.

Geschiedenis

De begingeschiedenis van de immersielithografie wordt gekenmerkt door de samenwerking van de enige drie producenten ter wereld van lithografiemachines, te weten ASML, Canon, en Nikon. Op kosten van deze drie was de immersietechniek in de jaren 80 van de 20e eeuw al eens bestudeerd, maar met matig resultaat. Daarna echter heeft het MIT de techniek verbeterd, en op een congres, dat in 2001 in Orlando werd gehouden, werden de resultaten bekendgemaakt. Na dit congres gingen de drie concurrenten ieder hun weg om een werkend en verkoopbaar apparaat te ontwikkelen, dat gebaseerd was op deze techniek.

Onder leiding van Jan Mulkens werd door ASML een dergelijke machine ontwikkeld. Het bedrijf zat in een moeilijke periode, daar er weinig orders waren, maar het onderzoeksbudget bleef hoog. Er werd samengewerkt met Philips Natuurkundig Laboratorium, dat onderzoek deed naar immersietechnologie voor de productie van cd's, alsmede met het instituut IMEC te Leuven. In 2004 was er al een verkoopbare machine. Dit kwam vooral doordat een bestaande, zogenaamde tweestappenmachine, zodanig kon worden gemodificeerd dat 90% van de oorspronkelijke onderdelen kon blijven functioneren. IBM en Taiwan Semiconductor Manufacturing (TSMC) waren de eerste kopers.

De concurrent Nikon kwam anderhalf jaar na ASML met een immersiemachine op de markt, en Canon bijna drie jaar na ASML.

Resultaten

Met immersielithografie kan de lijnafstand op de wafer worden teruggebracht tot 36,5 nanometer. Door de voorsprong heeft ASML haar marktaandeel aanzienlijk vergroot tot 65% in 2007. Hoewel nog niet alle verkochte wafersteppers immersiemachines zijn, neemt het aandeel daarvan toe.

Externe bron

  • NRC Handelsblad, 16 januari 2008.
Basisbegrippen:Apertuur · Beeld · Beeldvlak · Brandpunt · Brandpuntsafstand · Brekingsindex · Catadioptrisch systeem · Concaaf · Contrast · Convergentie en divergentie · Convex · Diafragmagetal · Dioptrie · Fresnelvergelijkingen · Getal van Abbe · Glans · Hoekvergroting · Hoofdvlak · Intree- en uittreepupil · Lenzenformule · Lichtbreking · Openingshoek · Optische as · Parallax · Paraxiale benadering · Reflectie · Scheimpflug-principe · Spiegelbeeld · Strehlverhouding · Totale interne reflectie · Virtueel beeld · Wet van Snellius
Optische component:Dunne lens · Dikke lens · Diafragma · Flintglas · Fresnellens · Kroonglas · Lens · Microlens · Retroreflector · Spiegel · Stralingsdeler
Asferische component:Asferische optiek · Cilindrische lens · Lachspiegel · Paraboolreflector · Schmidtcorrector · Torische lens
Lenzenstelsel:Condensor · Lenzenstelsel · Objectief (optica) · Oculair · Retrofocus- en teleconstructie
Afbeeldingsfout:Afbeeldingsfouten · Astigmatisme · Beeldveldwelving · Chromatische aberratie · Coma · Sferische aberratie · Vertekening
Toepassing (fotografie):Fisheye-objectief · Fotografie · Groothoekobjectief · Macro-objectief · Pentaprisma · Standaardobjectief · Teleconverter · Teleobjectief · Tussenring · Vergrotingsapparaat · Vignettering · Voorzetlens · Zoomobjectief
(bril e.d.):Antireflectiecoating · Bifocaal brillenglas · Beeldschermbril · Bril · Contactlens · Intraoculaire lens · Multifocaal brillenglas · Nabijheidspunt · Oogmeting · Refractor (optometrie) · Vertepunt
(microscoop):Microscoop · Numerieke apertuur · Olie-immersie · Stereomicroscoop
(projector):Eidophor · Episcoop · Diaprojector · Filmprojector · Overheadprojector · Toverlantaarn · Videoprojector
(telescoop e.d.):Actieve optiek · Astrograaf · Dobsontelescoop · Hollandse kijker · Montering · Newtontelescoop · Nulcorrector · Refractor (telescoop) · Spiegeltelescoop (alle types) · Telescoop · Verrekijker · Volgster
Algemene toepassing:Achteruitkijkspiegel · Adaptieve optiek · Barlowlens · Kaleidoscoop · Eenrichtingsspiegel · Immersielithografie · Loep · Periscoop · Theodoliet · Waterpasinstrument
{{bottomLinkPreText}} {{bottomLinkText}}
Immersielithografie
Listen to this article

This browser is not supported by Wikiwand :(
Wikiwand requires a browser with modern capabilities in order to provide you with the best reading experience.
Please download and use one of the following browsers:

This article was just edited, click to reload
This article has been deleted on Wikipedia (Why?)

Back to homepage

Please click Add in the dialog above
Please click Allow in the top-left corner,
then click Install Now in the dialog
Please click Open in the download dialog,
then click Install
Please click the "Downloads" icon in the Safari toolbar, open the first download in the list,
then click Install
{{::$root.activation.text}}

Install Wikiwand

Install on Chrome Install on Firefox
Don't forget to rate us

Tell your friends about Wikiwand!

Gmail Facebook Twitter Link

Enjoying Wikiwand?

Tell your friends and spread the love:
Share on Gmail Share on Facebook Share on Twitter Share on Buffer

Our magic isn't perfect

You can help our automatic cover photo selection by reporting an unsuitable photo.

This photo is visually disturbing This photo is not a good choice

Thank you for helping!


Your input will affect cover photo selection, along with input from other users.