Сверхвысокочастотный разряд

Сверхвысокочастотный разряд (СВЧ разряд, микроволновый разряд) — электрический разряд в газах, создаваемый переменным электрическим полем с частотой 10⁹ — 10¹¹ Гц.

СВЧ разряды классифицируют по способу возбуждения:

• СВЧ разряд в волноводе
• СВЧ разряд в резонаторе. Благодаря резонансу, данный способ позволяет относительно легко получать в лабораторных условиях СВЧ разряды с напряжённостью поля вплоть до 10⁶ В/см.
• СВЧ разряд в свободном пространстве.

СВЧ разряд в технике

СВЧ разряд используется в плазмотронах, в плазмохимических реакторах.

Паразитный СВЧ разряд может возникать вокруг деталей мощных СВЧ приборов, в том числе в вакууме, развиваясь за счёт вторичной электронной эмиссии, и тем самым ограничивая мощность данных приборов.

Серная лампа

СВЧ разряд используется для безэлектродного возбуждения атомов, например, в серных безртутных люминесцентных лампах, в которых СВЧ разряд используется для возбуждения атомов серы^[1].

Существуют также проекты по очистке атмосферы Земли от фреонов с помощью высотных СВЧ разрядов.^[2]