Мікротехнологія
способи реалізації процесів виготовлення структур, характерні розміри яких вимірюються мікронами або менші / З Вікіпедії, безкоштовно encyclopedia
Шановний Wikiwand AI, Давайте зробимо це простіше, відповівши на ключові запитання:
Чи можете ви надати найпопулярніші факти та статистику про Мікротехнологія?
Підсумуйте цю статтю для 10-річної дитини
Мікротехноло́гія (англ. microtechnology) — способи реалізації процесів виготовлення структур, характерні розміри яких вимірюються мікронами або менші. Історично процеси мікротехнології використовувались у мікроелектроніці для виробництва інтегральних схем (див. Технологія виробництва напівпровідників). Починаючи з 1990-их років область застосування цієї групи методів поширилась за рахунок появи та масового виробництва мікроелектромеханічених систем (МЕМС), аналітичних мікросистем, твердих дисків, рідкокристалічних дисплеїв, сонячних панелей тощо. Завдяки спільним рисам оригінальних технологічних методів, що набули поширення, та їх універсальності ці технології сформувались до кінця XX ст. у науково-технічний напрям, що отримав назву «мікротехнологія».
Мініатюризація різноманітних пристроїв вимагає при їх виготовленні залучення досягнень різних галузей науки і техніки: фізики, хімії, матеріалознавства, інформатики, вакуумної техніки, гальванотехніки[1]. До основних фізико-хімічних процесів, що знайшли застосування у мікротехнології належать:
- фотолітографія;
- легування;
- осадження тонких плівок;
- травлення;
- металізація;
- полірування;
- механічна обробка мікроінструментами.