Наноелектромеханічні системи

Наноелектромехані́чні систе́ми або НЕМС — пристрої та технології, що поєднують в собі електронні і механічні компоненти розміром до 100 нм.

SiTime SiT8008 - це програмований генератор, що досягає кварцової точності з високою надійністю та низькою чутливістю. Нанорозмірні транзистори (лівий бік) та нанорозмірні механічні компоненти (праворуч) вбудовані на один і той же чип.

Основні параметри

Наноелектромеханічні системи є наступним кроком мінітюарізаціі для мікроелектромеханічних систем.

НЕМС використовуються як високочастотні осцилятори (до 10 ГГц), наномотори і модулятори.

Як матеріали для виготовлення НЕМС широко використовуються графен і вуглецеві нанотрубки.

Сучасний стан

На початку ХХІ ст., наноелектромеханічні системи можуть виготовлятися як методами зверху-вниз, до яких відносяться традиційні методи мікроелектроніки (оптична та електронно-променева літографія), так і методами знизу-вгору, такими як молекулярне розпізнавання і самоскладання.