三氟氧磷

三氟氧磷，又称磷酰氟，是一种有毒气体，其化学式为POF₃。

三氟氧磷
IUPAC名 Phosphoryl trifluoride Phosphorus trifluoride oxide
别名	Phosphorus oxyfluoride Phosphoric trifluoride
识别
CAS号	13478-20-1  Y
PubChem	83516
ChemSpider	75351
SMILES	FP(F)(F)=O
InChI	1/F3OP/c1-5(2,3)4
InChIKey	FFUQCRZBKUBHQT-UHFFFAOYAJ
EINECS	236-776-4
性质
化学式	POF3
摩尔质量	103.9684 g·mol⁻¹
外观	透明无色气体
沸点	-39.7 °C（233 K）
溶解性（水）	反应
结构
分子构型	四面体
偶极矩	D
危险性
警示术语	R：R14, R22, R26, R35, R48/23
安全术语	S：S1/2, S7/8, S26, S36/37/39, S45
MSDS	ICSC 0190
欧盟编号	015-009-00-5
欧盟分类	T+ Xn C
NFPA 704	0 3 2 W
相关物质
相关化学品	硫代磷酰氟 三氯氧磷 磷酰溴 三氟化磷 五氟化磷
若非注明，所有数据均出自标准状态（25 ℃，100 kPa）下。

反应

三氟氧磷与二甲胺反应生成二甲氨基磷酰氟(CH₃)₂NPOF₂、二氟磷酸盐和六氟磷酸盐。^[1]