二氯硅烷

二氯硅烷，缩写DCS，是一种无机化合物，化学式为SiH₂Cl₂。

二氯硅烷
Ball and stick model of dichlorosilane Spacefill model of dichlorosilane
IUPAC名 Dichlorosilane[1]
别名	二氯甲硅烷
识别
缩写	DCS
CAS号	4109-96-0  Y
PubChem	61330
ChemSpider	55266
SMILES	Cl[SiH2]Cl
UN编号	2189
EINECS	223-888-3
RTECS	VV3050000
MeSH	dichlorosilane
性质
化学式	SiH 2Cl 2
摩尔质量	101.007 g mol−1 g·mol⁻¹
外观	无色气体
密度	1.22 g cm−3
熔点	−122 °C（151 K）
沸点	8 °C（281.4 K）
溶解性（水）	（反应）
蒸气压	167.2 kPa (at 20 °C)
热力学
ΔfHm⦵298K	−320.49 kJ mol−1
S⦵298K	286.72 J K−1 mol−1
危险性
警示术语	R：R12, R14, R26, R35
安全术语	S：S26, S36/37/39, S45, S53, S60
欧盟分类	F+ T+
GHS危险性符号
GHS提示词	DANGER
H-术语	H220, H250, H280, H314, H330
P-术语	P210, P261, P305+351+338, P310, P410+403
NFPA 704	4 4 2
爆炸极限	4.1–99%
相关物质
相关化合物	氯硅烷 三氯硅烷 四氯化硅
相关化学品	二氯甲烷
若非注明，所有数据均出自标准状态（25 ℃，100 kPa）下。

制备

二氯硅烷可由硅烷和氯化氢按化学计量比在三氯化铝催化剂的存在下反应制备：^[2]

${\displaystyle \mathrm {SiH_{4}+2HCl\ {\xrightarrow {AlCl_{3},100^{o}C}}\ SiH_{2}Cl_{2}+2H_{2}} }$

它也可以利用三氯硅烷来制备：^[3]

2 SiHCl₃ ⇔ SiCl₄ + SiH₂Cl₂

化学性质

二氯硅烷遇水水解，产生多聚硅氧烷（-H₂Si-O-）_n；和氨反应氨解，产生(-H₂SiNH-)_n^[2]。

用途

二氯硅烷可以用来做微电子里的半导体硅层的起始物料，其优点是它在较低温度可以分解，并且有较高的硅晶体生长速率。^[3]

安全风险

二氯硅烷是一种化学性质活泼的气体，在空气中可以迅速水解并自燃。它的毒性也很大，利用它的任何实验都需要有保护性措施。^[4]其安全风险还包括皮肤和眼睛的刺激与吸收。^[5]