前道工序
半导体制造从晶圆开始到晶体管形成的工艺制程 来自维基百科,自由的百科全书
前道工序[1]或前端工艺(英语:front-end-of-line,FEOL,台湾作前段制程[2])是IC制造的第一部分,其中各个器件(晶体管、电容器、电阻器等)在半导体中进行图案化。[3] FEOL通常涵盖(但不包括)金属互连层沉积之前的所有内容。[4][5]


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参考
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前道工序[1]或前端工艺(英语:front-end-of-line,FEOL,台湾作前段制程[2])是IC制造的第一部分,其中各个器件(晶体管、电容器、电阻器等)在半导体中进行图案化。[3] FEOL通常涵盖(但不包括)金属互连层沉积之前的所有内容。[4][5]
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