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氟甲烷
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氟甲烷,也称为甲基氟、氟利昂41、HFC-41,其化学式为CH3F,在常温常压下是无毒、可液化的可燃气体,是甲烷的一氟取代物。氟甲烷用在半导体及电子产品的制程中,在射频场下氟甲烷会溶解氟离子,可选择性的蚀刻硅化合物的薄膜,即反应离子刻蚀。
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性质
在氟甲烷中,C-F键的键能为552 kJ/mol,其键长为0.139 nm(典型的C-F键键长为0.14 nm)。分子构型为四面体。
氟甲烷25度时的比热Cp为38.171 J.mol−1.K−1。临界点为44.9 °C (318.1 K)及6.280 MPa。
参考资料
外部链接
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