二次电子

二次电子（Secondary electrons），又称次级电子，是描述物体表面被一主要辐射照射后，发射出的低能量产物电子。该主要辐射可以是具有足够能量的离子、电子或是光子。二次电子属于二次发射（英语：secondary emission）的一种。

原理

低能量电子的平均自由径

电子在固体里的非弹性平均自由径（inelastic mean free path） 通常是具有普遍性，也就是说无关于甚么材料^[1]。这个距离对金属来说，通常是在几奈米内；对绝缘体来说，在十几奈米内，一般来说距离越小测量精度越高^[2][3]。而对低能量的电子（< 5eV）来说，则有更长的平均自由径。

应用

二次电子的原理被应用在电子倍增管、光电倍增管、微通道板、法拉第杯与戴利侦测器等侦测元件，也用在扫描电子显微镜。

另见

• 扫描电子显微镜
• 埃弗哈特-索恩利探测器