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氮化铝铟

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氮化铝铟(InAlN)是氮化铟氮化铝混合物组成的三五族半导体,用在电子学光子学设备里,和广泛使用的氮化镓性质类似。氮化铝铟有大的直接带隙,在高达1000 °C的温度下仍可以稳定工作,因此在需要良好稳定性及可靠度中的应用领域上,会特别关注此半导体[1],像是太空产业英语space industry[2]。InAlN的高电子迁移率晶体管(HEMT)因为其晶格可以和氮化镓配合,可以避免像氮化铝镓HEMT的失效原因,因此在此产业中很受到注意。

InAlN的外延长晶是用有机金属化学气相沉积法[3]分子束外延[4],配合其他半导体材料(例如氮化镓氮化铝及其混合物来产生半导体的晶元,之后用作半导体零件中的主动元件。因为氮化铝氮化铟的性质差异很大[5],最佳成长的狭窄比例区间可能会有污染(形成氮化铝铟镓、晶体品质不良[6],氮化铝铟的外延长晶格外困难,至少比氮化铝镓要困难。针对氮化铝镓最佳化的零件制造技术,需要因为氮化铝铟的不同材料特性而进行调整[7]

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