三甲基硅烷

三甲基硅烷或三甲基硅化氫，是一種有機硅化合物，化學式為C₃H₁₀Si，結構簡式(CH₃)₃SiH。它是一種極易燃的物質。三甲基硅烷用於半導體工業中的等離子相腐蝕劑。^[1]

三甲基硅烷
識別
CAS號	993-07-7  Y
ChemSpider	63614
SMILES	C[SiH](C)C
性質
化學式	C3H10Si
摩爾質量	74.2 g·mol−1
密度	0.638 g cm-3
熔點	-135.9 °C（137 K）
沸點	6.7 °C（280 K）
危險性
警示術語	R：R12, R36/37/38
安全術語	S：S9, S16, S26, S33
歐盟分類	F
NFPA 704	4 2 1
若非註明，所有數據均出自標準狀態（25 ℃，100 kPa）下。

參見

• 二甲基硅烷
• 三甲基硅基