甲矽烷

甲硅烷（英語：Silane），也稱甲硅烷、矽甲烷，化學式為SiH₄，是一種硅烷；有時也被簡稱為硅烷（勿混淆）。它的結構與甲烷類似，只是用硅取代了甲烷中的碳。在室溫下，硅烷是一種易燃的氣體，在空氣中，無需外加火源，硅烷就可以自燃。但是有學者認為，硅烷本身是很穩定的，在自然狀態下，是以聚合物的狀態存在的。在超過420攝氏度的環境下，硅烷會分解成硅和氫，因此硅烷可以被用來以薄膜沉積提純硅，是半導體工業重要的特用電子級氣體之一^[5]。

提示：此條目的主題不是甲基硅烷。

甲硅烷
甲硅烷 硅烷
IUPAC名 silicane
別名	硅化氫 硅烷
識別
CAS號	7803-62-5  Y
PubChem	23953
ChemSpider	22393
SMILES	[SiH4]
InChI	1/H4Si/h1H4
InChIKey	BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYAE
Gmelin	273
UN編號	2203
ChEBI	29389
RTECS	VV1400000
性質
化學式	SiH4
摩爾質量	32.12 g·mol⁻¹
外觀	無色氣體
密度	0.7 g/ml（液態） 1.313 g L−1（氣態）[1]
熔點	−185 °C（88 K）（[1]）
沸點	−111.9 °C（161 K）（[1]）
溶解性（水）	緩慢水解[1]
結構
分子構型	正四面體 Si-H鍵長 1.4798 Å[2]
偶極矩	0 D
熱力學[3]
ΔfHm⦵298K	34.31 kJ/mol
S⦵298K	204.61 J/mol·K
熱容	42.81 J/mol·K
危險性
GHS危險性符號
GHS提示詞	Danger
H-術語	H220, H280
P-術語	P210, P222, P230, P280, P377, P381, P403, P410+403
主要危害	極易燃燒，在空氣中自燃
NFPA 704	4 2 3
爆炸極限	1.37–100%
允許暴露限值	無[4]
相關物質
相關氫化物	甲烷、甲鍺烷
若非註明，所有數據均出自標準狀態（25 ℃，100 kPa）下。

甲硅烷是在1857年由德國化學家海因里希·布夫（Heinrich Buff）和弗里德里希·維勒（Friedrich Wöhler）通過鹽酸和硅化鋁反應發現的。^[6]

製備

工業上，多晶塊狀硅首先在攝氏200度置於流床反應器下化合：硅與通入的氯化氫形成三氯硅烷和氫氣。反應式如下：

${\displaystyle {\ce {Si + 3 HCl -> HSiCl3 + H2}}}$

將經過蒸餾純化的三氯化硅置於有催化劑的resinous bed反應器而產生歧化反應，形成硅烷和四氯化硅。反應式如下：

${\displaystyle {\ce {4 HSiCl3 -> SiH4 + 3SiCl4}}}$

此反應的催化劑常以金屬鹵化物爲主，尤其是氯化鋁。

安全

甲硅烷會在54 °C（129 °F）下自燃。^[7]至今已有多起因甲硅烷泄漏導致的燃燒和爆炸引起的傷亡事故。^[8][9][10]

${\displaystyle {\ce {SiH4 + 2 O2 -> SiO2 + 2 H2O}}}$     ${\displaystyle \Delta H=-1517{\text{ kJ/mol }}=-47.23{\text{ kJ/g}}}$

相較於純甲硅烷，經非活性氣體（如氮氣和氬氣）稀釋的甲硅烷暴露於空氣時更容易燃燒，在純氮里只要加入1%的矽烷和就有可能引發爆炸。^[11]

和甲烷不同，甲硅烷是劇毒，大鼠暴露於4小時的甲硅烷中的致死劑量（LC₅₀）是0.96%（9,600 ppm）。另外，甲硅烷接觸眼睛產生的硅酸會刺激眼睛。^[12]

參見

• 矽烷
• 乙矽烷