乙矽烷

乙矽烷（英語：Disilane），又稱矽乙烷，是一種有毒的化合物，分子式為Si₂H₆，在室溫下為氣態。它的性質與乙烷很類似，都是無色易燃的氣體，但是它的矽-矽鍵比乙烷的碳-碳鍵還來的弱，因此比乙烷還不穩定。乙矽烷通常是氫很好的來源，只要經過簡單的化學反應就可以得到氫。另外它也可以用來以薄膜沉積製備純矽，是半導體工業重要的特用電子級氣體之一^[3]。

乙矽烷
識別
CAS號	1590-87-0  Y
PubChem	74123
ChemSpider	66736
SMILES	[SiH3][SiH3]
InChI	1/H6Si2/c1-2/h1-2H3
InChIKey	PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYAQ
Gmelin	368
ChEBI	30597
性質
化學式	Si2H6
摩爾質量	62.219 g·mol⁻¹
外觀	無色可燃氣體
密度	2.66 kg/m3（15℃）[1] 0.69 g·cm−3（−25 °C）[1]
熔點	-132.5 °C（141 K）（[1]）
沸點	-14.5 °C（259 K）（[1]）
溶解性（水）	分解[1]
蒸氣壓	2940.2±0.0 mmHg at 25°C[2]
結構
分子構型	三斜晶系
偶極矩	0
危險性
主要危害	可燃，對皮膚會造成刺激
閃點	非常容易閃燃
相關物質
相關矽烷	SiH4
若非註明，所有數據均出自標準狀態（25 ℃，100 kPa）下。

製備

乙硅烷通常由硅化鎂的水解而成。反應會產生甲硅烷、乙硅烷、甚至丙硅烷。該方法已被放棄用於生產甲硅烷，但它仍然可以用於生產乙硅烷。^[4]痕量乙硅烷的存在是該方法產生的甲硅烷自燃的原因（類似地，二磷烷通常是磷化氫樣品中自發自燃的污染物）。

甲硅烷通過光化學反應^[5]和熱分解，也可以產生乙硅烷。

它也可以通過 Si₂Cl₆ 和氫化鋁鋰反應而成。^[6]

應用

甲硅烷和乙硅烷在 640 °C下分解，會沉積非晶硅。這個化學氣相沉積過程與光伏器件的製造有關。^[4]它用於生產硅晶圓。^[7]

乙硅烷氣體可用於控制 SiC 熱分解生長石墨烯過程中，Si 蒸氣的壓力。 Si蒸氣的壓力會影響生產的石墨烯的質量。^[8]