四甲基氫氧化銨
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四甲基氫氧化銨(TMAH或TMAOH)是一種分子式為 N(CH3)4+ OH− 的季銨鹼,也是這類化合物中最簡單的一種。這種物質只在五水合物時是一種相對穩定的固體形態。商業上,TMAH通常以水溶液、甲醇溶液或五水合物的形式銷售。其固體和溶液均為無色,不純時為黃色。純淨的TMAH幾乎沒有氣味,但樣品常有強烈的魚腥味,因其含有三甲胺的不純物。TMAH有大量、廣泛的工業和科研用途,例如在半導體器件製造中的黃光製程中當顯影液(去光阻液)。
Quick Facts 四甲基氫氧化銨, 識別 ...
四甲基氫氧化銨 | |
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IUPAC名 tetramethylazanium hydroxide | |
識別 | |
CAS號 | 75-59-2 Y 10424-66-5(三水合物) Y 10424-65-4(五水合物) Y |
PubChem | 60966 |
ChemSpider | 54928 |
SMILES |
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InChI |
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InChIKey | WGTYBPLFGIVFAS-REWHXWOFAQ |
性質 | |
化學式 | C4H13NO |
摩爾質量 | 91.15 g·mol−1 |
密度 | ~ 1.015 g/cm3 (20-25% 水溶液) |
熔點 | 67° C (五水合物) |
沸點 | 102° C (25% 水溶液) |
溶解性(水) | 好 |
危險性 | |
GHS危險性符號 | |
GHS提示詞 | Danger |
H-術語 | H300, H311, H314, H318 |
P-術語 | P260, P264, P270, P280, P301+310, P301+330+331, P303+361+353, P304+340, P305+351+338, P310, P322, P361, P363, P405 |
NFPA 704 | |
相關物質 | |
其他陰離子 | 四甲基氯化銨 |
其他陽離子 | 四乙基氫氧化銨 |
若非註明,所有數據均出自標準狀態(25 ℃,100 kPa)下。 |
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