扫描探针显微镜

扫描探针显微镜（Scanning probe microscopy，SPM）是所有机械式地用物理探针在样本上扫描移动以探测样本影像的显微镜的统称。其影像分辨率主要取决于探针的大小〔通常在纳米的范围〕。扫描隧道显微镜是第一个被发明的扫描探针显微镜〔1981年〕，这是一种用于在原子水平表面成像的仪器。第一次成功的扫描隧道显微镜实验由Binnig和Rohrer完成。他们成功的关键是使用反馈回路来调节样品和探针之间的间隙距离^[1]。

许多扫描探针显微镜可以同时用几种相互作用来成像。使用这些相互作用来获得图像的方式通常被称为模式。

种类

AFM, 原子力显微镜

• 接触式
• 非接触式
• 动态接触式

EFM, 静电力显微镜

KPFM,开尔文探针力显微镜

MFM,磁力显微镜

MRFM, 磁共振力显微镜

NSOM, 近场光学扫描显微镜;SNOM,扫描近场光学显微镜

PSTM,光子扫描隧道显微镜

SCM,电容扫描显微镜

SGM, 门扫描显微镜

SThM, 热扫描显微镜

STM, 扫描隧道显微镜

SVM, 扫描电压显微镜

厂商

• 俄罗斯NT-MDT公司 （页面存档备份，存于互联网档案馆）
• 美国维易科（Veeco）精密仪器有限公司 （页面存档备份，存于互联网档案馆）

参阅

• 表面科学

参考资料

1. Salapaka, Srinivasa; Salapaka, Murti. Scanning Probe Microscopy. IEEE Control Systems Magazine. 2008, 28 (2): 65–83. ISSN 0272-1708. doi:10.1109/MCS.2007.914688.

• JW Cross SPM - Scanning Probe Microscopy Website （页面存档备份，存于互联网档案馆）