掃描探針顯微鏡

掃描探針顯微鏡（Scanning probe microscopy，SPM）是所有機械式地用物理探針在樣本上掃描移動以探測樣本影像的顯微鏡的統稱。其影像解析度主要取決於探針的大小〔通常在納米的範圍〕。掃描隧道顯微鏡是第一個被發明的掃描探針顯微鏡〔1981年〕，這是一種用於在原子水平表面成像的儀器。第一次成功的掃描隧道顯微鏡實驗由Binnig和Rohrer完成。他們成功的關鍵是使用反饋迴路來調節樣品和探針之間的間隙距離^[1]。

許多掃描探針顯微鏡可以同時用幾種相互作用來成像。使用這些相互作用來獲得圖像的方式通常被稱為模式。