三甲基硅烷化合物 / 維基百科,自由的 encyclopedia 三甲基硅烷或三甲基硅化氢,是一种有机硅化合物,化学式为C3H10Si,结构简式(CH3)3SiH。它是一种极易燃的物质。三甲基硅烷用于半导体工业中的等离子相腐蚀剂。[1] 事实速览 三甲基硅烷, 识别 ... 三甲基硅烷 识别 CAS号 993-07-7 N ChemSpider 63614 SMILES C[SiH](C)C 性质 化学式 C3H10Si 摩尔质量 74.2 g·mol−1 密度 0.638 g cm-3 熔点 -135.9 °C(137 K) 沸点 6.7 °C(280 K) 危险性 警示术语 R:R12, R36/37/38 安全术语 S:S9, S16, S26, S33 欧盟分类 F NFPA 704 4 2 1 若非注明,所有数据均出自标准状态(25 ℃,100 kPa)下。 关闭
三甲基硅烷或三甲基硅化氢,是一种有机硅化合物,化学式为C3H10Si,结构简式(CH3)3SiH。它是一种极易燃的物质。三甲基硅烷用于半导体工业中的等离子相腐蚀剂。[1] 事实速览 三甲基硅烷, 识别 ... 三甲基硅烷 识别 CAS号 993-07-7 N ChemSpider 63614 SMILES C[SiH](C)C 性质 化学式 C3H10Si 摩尔质量 74.2 g·mol−1 密度 0.638 g cm-3 熔点 -135.9 °C(137 K) 沸点 6.7 °C(280 K) 危险性 警示术语 R:R12, R36/37/38 安全术语 S:S9, S16, S26, S33 欧盟分类 F NFPA 704 4 2 1 若非注明,所有数据均出自标准状态(25 ℃,100 kPa)下。 关闭