氟甲烷

氟甲烷，也稱為甲基氟、氟利昂41、HFC-41，其化學式為CH₃F，在常溫常壓下是無毒、可液化的可燃氣體，是甲烷的一氟取代物。氟甲烷用在半導體及電子產品的製程中，在射频场下氟甲烷會溶解氟離子，可選擇性的蝕刻矽化合物的薄膜，即反应离子刻蚀。

氟甲烷
IUPAC名 Fluoromethane
别名	甲基氟、氟利昂41、HFC-41、R-41
识别
缩写	R41
CAS号	593-53-3  Y 558-21-4（2H3）  N 20666-44-8（13C）  N
PubChem	11638（2H3） 450707（11C） 12336970（13C） 9833918（17F） 450725（18F） 11638
ChemSpider	11148 (2H3), 396977 (11C), 21170290 (13C), 8009639 (17F), 396995 (18F), 11148
SMILES	FC
InChI	1/CH3F/c1-2/h1H3
InChIKey	NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYAF
Beilstein	1730725
Gmelin	391
UN编号	UN 2454
EINECS	209-796-6
ChEBI	28826
KEGG	C11147
MeSH	Fluoromethane
性质
化学式	CH3F
摩尔质量	34.03 g·mol⁻¹
外观	無色無味氣體
密度	0.5786 kg/m3(20°C) 0.557 g/cm3(25°C氣體，飽和蒸氣壓)
熔点	-141.8 °C(131.4 K)
沸点	-78.2 °C(195.0 K)
溶解性（水）	1.66 l/kg (2.295 g/l)
蒸氣壓	3.3 MPa at 20 °C
结构
分子构型	四面体
危险性
欧盟危险性符号 极易燃 F+
警示术语	R：R12
安全术语	S：S9, S16, S23, S24/25, S26, S28, S33, S36/37/39, S60
NFPA 704	4 1 0
相关物质
相关化学品	氯甲烷、溴甲烷、碘甲烷、二氟甲烷、三氟甲烷、四氟化碳
若非注明，所有数据均出自标准状态（25 ℃，100 kPa）下。

性質

在氟甲烷中，C-F鍵的鍵能為552 kJ/mol，其鍵長為0.139 nm(典型的C-F鍵鍵長為0.14 nm)。分子構型為四面體。

氟甲烷25度時的比熱C_p為38.171 J.mol⁻¹.K⁻¹。臨界點為44.9 °C (318.1 K)及6.280 MPa。

氟甲烷是溫室氣體，其全球暖化潛勢(GWP)為150^[1]。