乙矽烷

乙矽烷（英語：Disilane），又稱矽乙烷，是一種有毒的化合物，分子式為Si₂H₆，在室溫下为气態。它的性質與乙烷很類似，都是無色易燃的氣體，但是它的矽-矽鍵比乙烷的碳-碳鍵還來的弱，因此比乙烷還不穩定。乙矽烷通常是氫很好的來源，只要經過簡單的化學反應就可以得到氫。另外它也可以用來以薄膜沉積製備純矽，是半導體工業重要的特用電子級氣體之一^[3]。

乙矽烷
识别
CAS号	1590-87-0  Y
PubChem	74123
ChemSpider	66736
SMILES	[SiH3][SiH3]
InChI	1/H6Si2/c1-2/h1-2H3
InChIKey	PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYAQ
Gmelin	368
ChEBI	30597
性质
化学式	Si2H6
摩尔质量	62.219 g·mol⁻¹
外观	無色可燃氣體
密度	2.66 kg/m3（15℃）[1] 0.69 g·cm−3（−25 °C）[1]
熔点	-132.5 °C（141 K）（[1]）
沸点	-14.5 °C（259 K）（[1]）
溶解性（水）	分解[1]
蒸氣壓	2940.2±0.0 mmHg at 25°C[2]
结构
分子构型	三斜晶系
偶极矩	0
危险性
主要危害	可燃，對皮膚會造成刺激
闪点	非常容易閃燃
相关物质
相关矽烷	SiH4
若非注明，所有数据均出自标准状态（25 ℃，100 kPa）下。

制备

乙硅烷通常由硅化镁的水解而成。反应会产生甲硅烷、乙硅烷、甚至丙硅烷。该方法已被放弃用于生产甲硅烷，但它仍然可以用于生产乙硅烷。^[4]痕量乙硅烷的存在是该方法产生的甲硅烷自燃的原因（类似地，二磷烷通常是磷化氢样品中自发自燃的污染物）。

甲硅烷通过光化学反应^[5]和热分解，也可以产生乙硅烷。

它也可以通过 Si₂Cl₆ 和氢化铝锂反应而成。^[6]

应用

甲硅烷和乙硅烷在 640 °C下分解，会沉积非晶硅。这个化学气相沉积过程与光伏器件的制造有关。^[4]它用于生产硅晶圆。^[7]

乙硅烷气体可用于控制 SiC 热分解生长石墨烯过程中，Si 蒸气的压力。 Si蒸气的压力会影响生产的石墨烯的质量。^[8]