Trimethylsilan

Trimethylsilan je organokřemičitá sloučenina se vzorcem (CH₃)₃SiH, patřící mezi trialkylsilany. Vazba Si–H se vyznačuje vysokou reaktivitou. Tato látka se používá jako činidlo, i když méně často než triethylsilan, který je za pokojové teploty kapalný.

Trimethylsilan
Strukturní vzorec
Model molekuly
Obecné
Systematický název	trimethylsilan
Sumární vzorec	C3H10Si
Vzhled	bezbarvý plyn[1]
Identifikace
Registrační číslo CAS	993-07-7
PubChem	70435
SMILES	C[SiH](C)C
InChI	InChI=1S/H2Si/h1H2
Vlastnosti
Molární hmotnost	74,197 g/mol
Teplota tání	−135,9 °C (142,2 K)
Teplota varu	6,7 °C (279,8 K)
Hustota	0,638 g/cm3
Bezpečnost
GHS02 GHS04 GHS07 [1]
H-věty	H220 H224 H280 H315 H319 H335[1]
P-věty	P210 P222 P230 P233 P240 P241 P242 P243 P261 P261+264 P265 P271 P280 P302+352 P303+361+353 P304+340 P305+351+338 P319 P321 P332+317 P337+317 P362+364 P370+378 P377 P381 P403+233 P405 P410+403 P501[1]
Není-li uvedeno jinak, jsou použity jednotky SI a STP (25 °C, 100 kPa). Některá data mohou pocházet z datové položky.

Trimethylsilan se používá při výrobě polovodičů k tvorbě dielektrických a bariérových vrstev plazmochemickou depozicí z plynné fáze (PE-CVD).^[2]

Také slouží jako zdrojový plyn při výrobě TiSiCN povlaků a k ukládání vrstev karbidu křemíku nízkotlakou chemickou depozicí z plynné fáze (LP-CVD) za poměrně nízkých teplot pod 1000 °C. Je drahý, ale bezpečnější než silan (SiH₄); vlastnosti povlaků vytvořených pomocí něj nelze nahradit jinými zdrojovými plyny obsahujícími křemík a uhlík.