ASML

alankomaalainen teknologiayritys From Wikipedia, the free encyclopedia

Remove ads

ASML on alankomaalainen teknologiayritys, joka valmistaa optisen litografian laitteita puolijohdeteollisuudelle.[2] Yritys toi markkinoille EUV-litografialla (extreme ultraviolet) valmistamiseen käytettävät laitteet vuonna 2017.[2][3] Yksi EUV-laite maksaa noin 150 miljoonaa dollaria.[2]

ASML:llä on yli 90 prosentin osuus litografialaitteiden markkinoilla, jossa sen kilpailijoita ovat vanhempaan tekniikkaan keskittyvät Canon ja Nikon.[4] 1980- ja 1990-luvuilla ASML:llä oli 1215 prosentin osuus toimituksista ja Nikonilla oli 5060 prosentin osuus. Tilanne alkoi muuttua ASML:n eduksi 1990-luvun toisella puoliskolla. ASML ja Nikon ovat olleet useita kertoja lakituvassa 2000-luvulla.[5]

ASML syntyi vuonna 1984 Philipsin ja ASM:n (Advanced Semiconductor Materials International, ASMI) yhteisyrityksenä litografialaitteiden valmistukseen nimellä ASM Lithography. Vuonna 1995 yrityksestä tuli itsenäinen osakeyhtiö.[6]

Remove ads

Extreme ultraviolet -teknologia

ASML on ainut yritys maailmassa, joka pystyy valmistamaan EUV-litografiaa hyödyntäviä litografiakoneita.

EUV-litografia käyttää 13,5 nanometrin aallonpituutta mikropiirien valmistuksessa.[2] 1990-luvulla yritysten konsortio, johon kuuluvat AMD, Intel ja Motorol, alkoi tutkia EUV:n käyttöä litografiassa.[2] ASML liittyi joukkoon vuonna 1999.[2] ASML:n menetelmä käyttää korkeatehoisia lasereita ja erikoispinnoitettuja peilejä.[2]

Yritykset kuten Intel, Samsung ja TSMC ovat asiakkaita ASML:n EUV-laitteille.[2]

EUV-prosessin jälkeen tulevat high-NA (high numerical aperture) ja vielä edistyneemmän hyper-NA litografian laitteet. ASML:n Martin van den Brink on kertonut, että jos laitteiden korkeaa kustannusta ei saada laskettua niiden ja itse piirien valmistus laitteilla ei olisi mahdollista taloudelliselta kannalta.[7]

Remove ads

Katso myös

Lähteet

Loading related searches...

Wikiwand - on

Seamless Wikipedia browsing. On steroids.

Remove ads