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Difusão atômica é um processo de difusão através do qual o movimento aleatório termicamente ativado de átomos em um sólido resulta num transporte em balanço de átomos. Por exemplo, átomos de hélio dentro de um balão podem difundir-se através da parede do balão lentamente se esvaziando. Outras moléculas do ar (e.g. oxigênio, nitrogênio) tem menores mobilidades e então podem se difundir mais lentamente através da parede do balão. Existe um gradiente de concentração na parede do balão, porque inicialmente o balão era preenchido com hélio, e então está cheio de hélio em seu interior, mas há relativamente pouco hélio no lado externo (hélio não é um componente significativo do ar). A taxa de transporte é governada pela difusividade e o gradiente de concentração.
No estado sólido cristalino, a difusão dentro da rede cristalina ocorre tanto por mecanismos intersticiais como substitucionais e é tratado como difusão de retículo[1]. Na difusão de retículo intersticial, um difundente (tal como carbono em uma liga de ferro), irá difundir-se entre a estrutura de retículo de outro elemento cristalino. Na difusão de retículo substitucional (autodifusão por exemplo), o átomo pode somente mover-se pela substituição de local com outro átomo. A difusão de retículo substitucional é frequentemente contingente sobre a disponibilidade de pontos de vacãncia em toda a rede cristalina. Difusão de partículas migram de vaga ponto a ponto de vacância por saltos rápidos, essencialmente saltando aleatoriamente (difusão aos saltos).
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