二氟硅烷

二氟硅烷是无机化合物，化学式为SiH₂F₂，是甲硅烷的两个氢原子被氟取代而成的。

二氟硅烷
识别
CAS号	13824-36-7
PubChem	123331
ChemSpider	109934
SMILES	F[SiH2]F
性质
化学式	H2F2Si
摩尔质量	68.1 g·mol−1
外观	无色气体
熔点	−122 °C（151 K）
沸点	−77.8 °C（195 K）
热力学
S⦵298K	262.12 J/mol·K[1]
若非注明，所有数据均出自标准状态（25 ℃，100 kPa）下。

制备

二氟硅烷可由二氯硅烷和三氟化锑的卤素交换反应制得。^[2][3]

3 SiH₂Cl₂ + 2 SbF₃ → 3 SiH₂F₂ + 2 SbCl₃

它也可以由四氟化硅和氢气反应而成：

SiF₄ + 2 H₂ → SiH₂F₂ + 2 HF

当煤炭燃烧时，微量的二氟硅烷会因此产生。^[4]

性质

二氟硅烷是一种气体，沸点 −77.8 °C，熔点 −122 °C。 它没有颜色。 二氟硅烷的硅-氟键长度为 1.358 Å ，大于一氟硅烷但小于三氟硅烷。^[5]

反应

在放电情况下，它们的一个氢原子会脱离，形成 SiHF₂SiHF₂ 和氢气。^[3]

2 SiH₂F₂ → SiHF₂SiHF₂ + H₂

在高温下，二氟硅烷会歧化成一氟硅烷和三氟硅烷。^[5]

用处

二氟硅烷用于牙科清漆中，以防止蛀牙。 ^[6]

二氟硅烷也用于化学气相沉积中，以沉积氮化硅膜。

参见

• 甲硅烷
• 一氟硅烷
• 三氟硅烷