林本坚

林本坚 （1942年6月24日—^[1]），中华民国学者、中央研究院院士，现任国立清华大学特聘研究讲座教授、半导体研究学院院长、台积电-清大联合研发中心主任，越南西贡堤岸（今胡志明市）人，籍贯广东潮安，曾任台积电研发副总经理，与杨光磊、蒋尚义、孙元成、梁孟松、余振华等人并称“台积电研发六骑士”^[2]。

林本坚
出生	(1942-06-24) 1942年6月24日（83岁） 越南西贡堤岸
教育程度	俄亥俄州立大学电机工程学博士
头衔	国立清华大学特聘研究讲座教授 中央研究院院士 （工程科学组，2014年第30届）
奖项	IEEE西泽润一奖（2013） 未来科学大奖数学与计算机科学奖（2018） 总统创新奖（2024）

生平

1942年，出生于法属越南西贡堤岸的海外华侨家庭，在当地的中华民国侨校完成小学、中学至高二。

1959年起当地局势紧张，后以越籍侨生身份来台，插班进入台湾省立新竹中学高中三年级，后来在未以侨生身份加分的原始总分424分，录取当年最低录取分数423分的国立台湾大学电机工程学系，并于1963年毕业，后留学美国深造，虽获柏克莱加州大学录取，但因女友的关系，留在俄州并于1970年毕业于俄亥俄州立大学获得电机工程学博士。^[3][4]

后任职于IBM，1984年担任研发部经理。^[5][6] 1992年，从IBM提前退休并同年创立领创公司担任总经理。

2000年，回到台湾加入台积电。^[7]2002年，担任研发处长时，以浸润式微影（英语：Immersion lithography）技术，成功把摩尔定律推进六个世代，被誉为“浸润式微影之父”、“半导体界爱因斯坦”^[8]，后该技术为ASML看重并得到采用，2015年从台积电退休后，担任国立清华大学特聘研究讲座教授、半导体研究学院院长。^[9][10]他同时本身是一位虔诚的基督徒。^[11]

荣誉

• 2003年，被选为电气电子工程师学会会士和国际光电工程学会会士。^[9]
• 2008年，被选为美国国家工程院院士。^[12]
• 2013年，获得IEEE西泽润一奖。^[4][6]
• 2014年，被选为中央研究院院士。^[9]
• 2018年，获得未来科学大奖数学与计算机科学奖。
• 2024年，获得总统创新奖。