准分子激光(excimer laser,exciplex laser)是一种紫外气态激光,处于激发态的惰性气体和另一种气体(惰性气体或卤素)结合的混合气体形成的准分子[1],向其基态跃迁时发射所产生的激光,称为准分子激光。
| 本条目存在以下问题,请协助 改善本条目或在 讨论页针对议题发表看法。
| 此条目需要补充更多来源。 (2020年7月18日) |
|
准分子激光属于低能量激光,无热效应,是方向性强、波长纯度高、输出功率大的脉冲激光,光子能量波长范围为157-353纳米,脉冲时间为几十纳秒,属于紫外光。最常见的波长有157 nm、193 nm、248 nm、308 nm、351-353 nm。