三氟氯硅烷

三氟氯硅烷是一种化学式为 SiClF₃ 的气体。它是由硅、氟和氯组成的化合物。它是甲硅烷的氢原子被氟和氯原子代替而成。

三氟氯硅烷
IUPAC名 chloro(trifluoro)silane[1]
系统IUPAC名 Chlorotrifluorosilane
别名	silicon chlorotrifluoride[2]
识别
CAS号	14049-36-6  Y
PubChem	139671
ChemSpider	123179
SMILES	F[Si](F)(F)Cl
性质
化学式	ClF3Si
摩尔质量	120.53 g·mol−1
外观	无色气体
密度	1.31 g/mL
熔点	-138 °C（135 K）
溶解性（水）	反应
蒸气压	16600
折光度n D	1.279
结构
分子构型	四面体
偶极矩	0.636 D(气体)
相关物质
相关化学品	四氟化硅 二氯二氟硅烷
若非注明，所有数据均出自标准状态（25 ℃，100 kPa）下。

它可由三氟化锑和四氯化硅反应制得；六氟化二硅和氯气反应也能得到三氟氯硅烷，但该反应会发生爆炸。^[3]