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六氟乙烷
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六氟乙烷,是一种卤代烃(化学式:C2F6),亦是烃类化合物乙烷所对应的全氟化合物,是一种不易燃的气体,难溶于水,微溶于醇。
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物理性质
六氟乙烷在固相时拥有两种晶型,不同相变温度已于科学文献中列明,最新的文献将相变温度定于103 K(-170 °C)。在低于103 K的情况下,它会有一个稍微无序的结构,在相变点以上,会形成体心立方晶体结构。[1]
六氟乙烷密度表:
用途
六氟乙烷可用于一种具多功能的蚀刻技术,常见于半导体之生产。它可用于金属矽化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。叧外,它亦用于蚀刻矽上的二氧化硅。
环境影响
六氟乙烷是一种造成温室效应的气体。它非常稳定,可以长时间停留在大气层中,是一种非常强大的温室气体。它在大气中的寿命约为10,000年,全球暖化潜势是9,200(二氧化碳的系数是1)。它在大气层的浓度是 3 pptv(在1750年时是 0 pptv[2])。然而,六氟乙烷在红外线光谱下有强大的吸收势。它的辐射驱动力是0.001 W/m²。它的臭氧破坏潜势是0。
六氟乙烷已列入《IPCC国家温室气体清单》。
六氟乙烷的工业排放主要在以霍尔电解法生产铝的过程中产生。
安全
参见
参考资料及注释
外部链接
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