氟三氯硅烷

氟三氯硅烷是一种无机化合物，化学式为SiCl₃F。它可由四氯化硅和三氟化锑在五氯化锑或氯气的催化下反应得到，该反应也会产生硅的其它氟氯化物；^[2]四氯化硅和氟化铵长时间回流，也有氟三氯硅烷生成，反应的另一产物是四氟化硅。^[3]它可以和二甲胺反应，得到三(二甲氨基)氟化硅。^[4]

氟三氯硅烷
系统IUPAC名 Trichloro(fluoro)silane
别名	三氯氟硅烷 一氟三氯化硅
识别
CAS号	14965-52-7  Y
PubChem	139862
ChemSpider	123347
性质
化学式	SiCl3F
摩尔质量	153.43 g·mol⁻¹
密度	1.477 g/cm3
沸点	12 °C（285 K）[1]
若非注明，所有数据均出自标准状态（25 ℃，100 kPa）下。