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等離子體蝕刻

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等離子體蝕刻是一種用於製造集成電路等離子體處理英語Plasma processing形式。它是將適當氣體混合物的高能輝光放電(等離子體)高速脈衝噴射到樣品上。等離子體源,稱為蝕刻物質,可以是帶電的(離子)或中性的(原子自由基)。在這一過程中,等離子體通過與被蝕刻材料元素之間的化學反應,在室溫下生成可揮發的蝕刻產物。最終,轟擊元素的原子嵌入到目標表面或表面以下,從而改變目標的物理性質[1]

機制

等離子體是一種高能態,在此狀態下可以發生多種過程。這些過程由電子和原子引發。要形成等離子體,需要加速電子以使其獲得能量。高能電子通過碰撞將能量傳遞給原子。由於這些碰撞,可以發生三種不同的過程:[2]

等離子體中存在不同的類型,如電子、離子、自由基和中性粒子。這些類型不斷相互作用。在等離子體蝕刻過程中,會發生兩個過程:[3]

  • 化學物質的生成
  • 與周圍表面的相互作用

沒有等離子體時,這些過程都需要在更高溫度下進行。可以通過不同方式改變等離子體化學成分,以獲得不同種類的等離子體蝕刻或沉積。一種形成等離子體的方法是使用頻率為13.56 MHz的射頻激勵,該頻率被分配用於此應用的ISM頻段

系統的工作模式會隨操作壓力變化而改變,反應室結構的不同也會影響等離子體的行為。在簡單情況下,電極結構對稱,樣品放置在接地電極上。

對工藝的影響

成功開發複雜蝕刻工藝的關鍵在於找到合適的氣體蝕刻化學成分,以與待蝕刻材料形成可揮發產物,如下表所示。對於一些難以蝕刻的材料(如磁性材料),只有在提高晶片溫度時才能獲得足夠的揮發性。影響等離子體工藝的主要因素包括:

  • 電子源
  • 壓力
  • 氣體種類
  • 真空
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表面相互作用

產物的反應取決於不同原子、光子或自由基形成化合物的幾率。表面溫度也會影響產物的反應。當物質能夠聚集並以凝聚層形式到達表面時發生吸附,該凝聚層厚度各異(通常是一層薄薄的氧化層)。可揮發產物在等離子相中脫附,並在材料與樣品壁相互作用時促進蝕刻過程。如果產物不可揮發,將在材料表面形成薄膜。影響樣品等離子體蝕刻能力的因素包括:[4]

等離子體蝕刻可以改變表面接觸角,例如將其從親水性轉變為疏水性,或反之。據報道,氬等離子體蝕刻可將接觸角從52°提高到68°,[5]而氧等離子體蝕刻可將碳纖維增強聚合物的接觸角從52°降低到19°,用於骨板應用。等離子體蝕刻還可使金屬表面粗糙度從數百納米降低至最低約3 nm。[6]

類型

壓力會影響等離子體蝕刻工藝。為了實現等離子體蝕刻,反應室必須處於低壓狀態(低於100 Pa)。為了產生低壓等離子體,必須對氣體進行電離。電離通過輝光放電實現。外部激勵源可提供高達30 kW的功率,且其頻率範圍從50 Hz(直流)到5–10 Hz(脈衝直流),以及射頻和微波頻段(MHz–GHz)。[2][7]

微波等離子體蝕刻

微波蝕刻使用微波頻段(MHz–GHz)的激勵源。以下示例展示了一種微波等離子體蝕刻裝置:[8]

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一台微波等離子體蝕刻裝置。微波頻率為2.45 GHz,由磁控管產生,通過矩形和圓形波導放電。放電區位於內徑66 mm的石英管中,管外纏繞兩組線圈和一塊永磁體,用以產生磁場並引導等離子體。

氫等離子體蝕刻

氫等離子體蝕刻是一種利用氫氣進行等離子體蝕刻的方法。實驗裝置示例如下:[9]

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一根以30 MHz射頻激勵的石英管,外繞線圈,功率密度為2–10 W/cm³。室內充入H₂氣體,氣壓範圍為100-300 μm。

等離子體蝕刻機

等離子體蝕刻機(或蝕刻工具)是一種用於生產半導體器件的設備。等離子體蝕刻機利用高頻電場(通常為13.56 MHz)使工藝氣體(通常為氧氣或含氣體)電離並產生等離子體。將晶圓置於蝕刻機中,首先通過真空泵系統將反應室內的空氣抽空,然後在低壓下引入工藝氣體,並使其發生電擊穿後形成等離子體。

等離子體約束

工業等離子體蝕刻機通常採用等離子體約束技術,以實現可重複的蝕刻速率和精確的空間分布,並常用於RF等離子體中。[10]一種約束等離子體的方法是利用德拜層英語Debye sheath,這是等離子體近表面的一層結構,類似於其他流體中的雙電層。例如,當槽狀石英部件上的德拜層厚度至少為槽寬的一半時,鞘層會封閉槽口並將等離子體約束在內部,同時允許未帶電粒子通過。

應用

等離子體蝕刻目前廣泛應用於半導體材料的加工,用於電子器件的製造。可在半導體材料表面蝕刻出微小結構,以提高效率或增強在電子器件中的性能。[11]例如,等離子體蝕刻可在硅表面刻出深溝槽,用於微機電系統,顯示出在微電子生產中的潛力。[11] 同樣,目前也在研究如何將該工藝調整至納米級別。[11]

氫等離子體蝕刻在去除半導體表面的本徵氧化物方面表現出色,能留下潔淨且化學平衡的表面,適用於多種應用。[9]

氧等離子體蝕刻可通過在感應耦合等離子體/反應離子蝕刻(ICP/RIE)反應器中施加高偏壓,實現對單晶金剛石納米結構的各向異性深蝕刻。[12]另一方面,使用零偏壓氧等離子體可實現C–H端基金剛石表面的各向同性終端化。[13]

集成電路

等離子體可用於在硅片上生長二氧化硅薄膜(使用氧等離子體),也可使用含氟氣體去除二氧化硅。結合光刻,二氧化硅可選擇性塗敷或去除,以繪製電路走線。

為了形成集成電路,有必要對各層進行成型。這可以通過等離子體蝕刻機完成。蝕刻前,在表面上沉積光刻膠,通過掩膜曝光並顯影。然後進行干法蝕刻,以獲得所需結構。工藝完成後,需要去除殘留光刻膠。這也在一種稱為灰化機英語asher (machine)的專用等離子體蝕刻機中完成。[14]

干法蝕刻可對硅和III–V族半導體技術中使用的所有材料進行可重複且均勻的蝕刻。通過使用感應耦合等離子體/反應離子蝕刻(ICP/RIE),即使是如金剛石等最堅硬的材料也能實現納米結構化。[15][16]

等離子體蝕刻機也用於失效分析中的集成電路分層。

印刷電路板

等離子體用於蝕刻印刷電路板,包括去污通孔。[17]

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參考

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