三氟氯矽烷

三氟氯矽烷是一種化學式為 SiClF₃ 的氣體。它是由矽、氟和氯組成的化合物。它是甲矽烷的氫原子被氟和氯原子代替而成。

三氟氯矽烷
IUPAC名 chloro(trifluoro)silane[1]
系統IUPAC名 Chlorotrifluorosilane
別名	silicon chlorotrifluoride[2]
識別
CAS號	14049-36-6  Y
PubChem	139671
ChemSpider	123179
SMILES	F[Si](F)(F)Cl
性質
化學式	ClF3Si
摩爾質量	120.53 g·mol−1
外觀	無色氣體
密度	1.31 g/mL
熔點	-138 °C（135 K）
溶解性（水）	反應
蒸氣壓	16600
折光度n D	1.279
結構
分子構型	四面體
偶極矩	0.636 D(氣體)
相關物質
相關化學品	四氟化矽 二氯二氟矽烷
若非註明，所有數據均出自標準狀態（25 ℃，100 kPa）下。

它可由三氟化銻和四氯化矽反應製得；六氟化二矽和氯氣反應也能得到三氟氯矽烷，但該反應會發生爆炸。^[3]