二氯矽烷

二氯矽烷，縮寫DCS，是一種無機化合物，化學式為SiH₂Cl₂。

二氯矽烷
Ball and stick model of dichlorosilane Spacefill model of dichlorosilane
IUPAC名 Dichlorosilane[1]
別名	二氯甲矽烷
識別
縮寫	DCS
CAS號	4109-96-0  Y
PubChem	61330
ChemSpider	55266
SMILES	Cl[SiH2]Cl
UN編號	2189
EINECS	223-888-3
RTECS	VV3050000
MeSH	dichlorosilane
性質
化學式	SiH 2Cl 2
莫耳質量	101.007 g mol−1 g·mol⁻¹
外觀	無色氣體
密度	1.22 g cm−3
熔點	−122 °C（151 K）
沸點	8 °C（281.4 K）
溶解性（水）	（反應）
蒸氣壓	167.2 kPa (at 20 °C)
熱力學
ΔfHm⦵298K	−320.49 kJ mol−1
S⦵298K	286.72 J K−1 mol−1
危險性
警示術語	R：R12, R14, R26, R35
安全術語	S：S26, S36/37/39, S45, S53, S60
歐盟分類	F+ T+
GHS危險性符號
GHS提示詞	DANGER
H-術語	H220, H250, H280, H314, H330
P-術語	P210, P261, P305+351+338, P310, P410+403
NFPA 704	4 4 2
爆炸極限	4.1–99%
相關物質
相關化合物	氯矽烷 三氯矽烷 四氯化矽
相關化學品	二氯甲烷
若非註明，所有數據均出自標準狀態（25 ℃，100 kPa）下。

製備

二氯矽烷可由矽烷和氯化氫按化學計量比在三氯化鋁催化劑的存在下反應製備：^[2]

${\displaystyle \mathrm {SiH_{4}+2HCl\ {\xrightarrow {AlCl_{3},100^{o}C}}\ SiH_{2}Cl_{2}+2H_{2}} }$

它也可以利用三氯矽烷來製備：^[3]

2 SiHCl₃ ⇔ SiCl₄ + SiH₂Cl₂

化學性質

二氯矽烷遇水水解，產生多聚矽氧烷（-H₂Si-O-）_n；和氨反應氨解，產生(-H₂SiNH-)_n^[2]。

用途

二氯矽烷可以用來做微電子裡的半導體矽層的起始物料，其優點是它在較低溫度可以分解，並且有較高的矽晶體生長速率。^[3]

安全風險

二氯矽烷是一種化學性質活潑的氣體，在空氣中可以迅速水解並自燃。它的毒性也很大，利用它的任何實驗都需要有保護性措施。^[4]其安全風險還包括皮膚和眼睛的刺激與吸收。^[5]