六甲基環三矽氮烷

六甲基環三矽氮烷，簡稱HMCTS^[3]或HMCTSZN，^[4]是一種有機化合物，化學式 C
6H
21N
3Si
3 或[–Si(CH
3)
2–NH–]
3。這個分子裡面有由三個矽原子和三個氮原子交替排列而成的六元環，每個矽原子都連接兩個甲基，氮原子則連接氫原子。它也可以看作是假想化合物環三矽氮烷 [–SiH
2–NH–]
3的衍生物，或是假想化合物二甲基矽氮烷 (CH
3)
2SiNH的三聚體。^[2][5]

六甲基環三矽氮烷
首選IUPAC名 2,2,4,4,6,6-hexamethyl-1,3,5,2,4,6-triazatrisilinane
英文名	hexamethylcyclotrisilazane
別名	二甲基矽氮烷三聚體 三聚二甲基矽氮烷 HMCTS HCMTSZ
識別
CAS號	1009-93-4  Y
PubChem	66094
ChemSpider	59483
SMILES	C[Si]1(N[Si](N[Si](N1)(C)C)(C)C)C
性質
化學式	C6H21N3Si3
摩爾質量	219.51 g·mol−1
密度	d20 0.9196 g/mL [1]
熔點	−10 °C [1][2]
沸點	188 °C [1][2]
折光度n D	n20/D 1.445 [1]
危險性
GHS危險性符號
GHS提示詞	Danger
H-術語	H226, H302, H314, H315, H318, H319, H335
P-術語	P210, P233, P240, P241, P242, P243, P260, P261, P264, P270, P271, P280, P301+312, P301+330+331
致死量或濃度：
LD50（中位劑量）	500 mg/kg（大鼠）[2]
若非註明，所有數據均出自標準狀態（25 ℃，100 kPa）下。

六甲基環三矽氮烷在室溫下是無色清澈液體。^[2]

由於其在半導體工業中的應用，六甲基環三矽氮烷作為氮化矽^[6][7][4]和碳氮化矽^[8]沉積的前體已被廣泛研究，並作為光刻膠中的添加劑。也有人建議將其作為二氧化矽的添加劑，用於色譜法。^[9]

結構

六甲基環三矽氮烷的環幾乎是一個平面。這個分子內的鍵長為 Si-N = 1.728 Å、Si-C = 1.871 Å、C-H = 1.124 Å。它的鍵角則為 N-Si-N ≈ 108°、Si-N-Si ≈ 127°、 C-Si-C ≈ 109°、H-C-H ≈ 112°。^[10][11]

製備

六甲基環三矽氮烷是在1948年由 Brewer 和 Haber 通過二甲基二氯矽烷 Si(CH
3)
2Cl
2和液氨 NH
3反應，然後用苯萃取沉澱首次合成的。反應會產生多種產物，主要是三聚體和四聚體八甲基環四矽氮烷。三聚體可以通過分餾與其他產物分離。^[1]

通過在合適的催化劑存在下與氫氣反應轉化四聚體，可以提高產率。^[12][13]

參見

• 三聚硫代丙酮