林本堅

林本堅 （1942年6月24日—^[1]），中華民國學者、中央研究院院士，現任國立清華大學特聘研究講座教授、半導體研究學院院長、台積電-清大聯合研發中心主任，越南西貢堤岸（今胡志明市）人，籍貫廣東潮安，曾任台積電研發副總經理，與楊光磊、蔣尚義、孫元成、梁孟松、余振華等人並稱「台積電研發六騎士」^[2]。

林本堅
出生	(1942-06-24) 1942年6月24日（83歲） 越南西貢堤岸
教育程度	俄亥俄州立大學電機工程學博士
頭銜	國立清華大學特聘研究講座教授 中央研究院院士 （工程科學組，2014年第30屆）
獎項	IEEE西澤潤一獎（2013） 未來科學大獎數學與計算機科學獎（2018） 總統創新獎（2024）

生平

1942年，出生於法屬越南西貢堤岸的海外華僑家庭，在當地的中華民國僑校完成小學、中學至高二。

1959年起當地局勢緊張，後以越籍僑生身分來台，插班進入臺灣省立新竹中學高中三年級，後來在未以僑生身份加分的原始總分424分，錄取當年最低錄取分數423分的國立台灣大學電機工程學系，並於1963年畢業，後留學美國深造，雖獲柏克萊加州大學錄取，但因女友的關係，留在俄州並於1970年畢業於俄亥俄州立大學獲得電機工程學博士。^[3][4]

後任職於IBM，1984年擔任研發部經理。^[5][6] 1992年，從IBM提前退休並同年創立領創公司擔任總經理。

2000年，回到台灣加入台積電。^[7]2002年，擔任研發處長時，以浸潤式微影（英語：Immersion lithography）技術，成功把摩爾定律推進六個世代，被譽為「浸潤式微影之父」、「半導體界愛因斯坦」^[8]，後該技術為ASML看重並得到採用，2015年從台積電退休後，擔任國立清華大學特聘研究講座教授、半導體研究學院院長。^[9][10]他同時本身是一位虔誠的基督徒。^[11]

榮譽

• 2003年，被選為電氣電子工程師學會會士和國際光電工程學會會士。^[9]
• 2008年，被選為美國國家工程院院士。^[12]
• 2013年，獲得IEEE西澤潤一獎。^[4][6]
• 2014年，被選為中央研究院院士。^[9]
• 2018年，獲得未來科學大獎數學與計算機科學獎。
• 2024年，獲得總統創新獎。