Tetrafluorsilan
chemische Verbindung / aus Wikipedia, der freien encyclopedia
Liebe Wikiwand-AI, fassen wir uns kurz, indem wir einfach diese Schlüsselfragen beantworten:
Können Sie die wichtigsten Fakten und Statistiken dazu auflisten Siliziumtetrafluorid?
Fass diesen Artikel für einen 10-Jährigen zusammen
ZEIGE ALLE FRAGEN
Tetrafluorsilan (SiF4), eine Siliciumverbindung aus der Gruppe der Siliciumtetrahalogenide. Es ist ein farbloses, giftiges, unbrennbares Gas. In der Halbleiterindustrie entsteht Siliciumtetrafluorid beim Entfernen von Siliciumdioxid-Schichten auf Wafern mittels Flusssäure.
Schnelle Fakten Strukturformel, Allgemeines ...
Strukturformel | ||||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Keile zur Verdeutlichung der Geometrie | ||||||||||||||||
Allgemeines | ||||||||||||||||
Name | Tetrafluorsilan | |||||||||||||||
Andere Namen |
| |||||||||||||||
Summenformel | SiF4 | |||||||||||||||
Kurzbeschreibung |
farbloses Gas mit stechendem Geruch[1] | |||||||||||||||
Externe Identifikatoren/Datenbanken | ||||||||||||||||
| ||||||||||||||||
Eigenschaften | ||||||||||||||||
Molare Masse | 104,1 g·mol−1 | |||||||||||||||
Aggregatzustand |
gasförmig | |||||||||||||||
Dichte |
4,372 kg·m−3 (15 °C)[1] | |||||||||||||||
Sublimationspunkt | ||||||||||||||||
Löslichkeit |
hydrolysiert in Wasser[1] | |||||||||||||||
Sicherheitshinweise | ||||||||||||||||
| ||||||||||||||||
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen. |
Schließen