一氟矽烷

一氟矽烷 是一種無機化合物 ，化學式SiH₃F 。

一氟矽烷
別名	氟矽烷
識別
CAS號	13537-33-2
PubChem	66390
SMILES	F[SiH3]
性質
化學式	SiH3F
莫耳質量	50.11 g·mol⁻¹
外觀	無色氣體[1]
密度	2.048 g·l−1[1]
熔點	−98.6 °C[2]
沸點	-88.1 °C
相關物質
相關化學品	氟甲烷 甲矽烷 二氟矽烷 三氟矽烷 四氟矽烷
若非註明，所有數據均出自標準狀態（25 ℃，100 kPa）下。

製備

一氟矽烷可以由氟甲烷和矽 反應而成。 ^[3] 它也可以由氯矽烷 和三氟化銻 反應而成。^[4]

${\displaystyle \mathrm {3\ SiH_{3}Cl+SbF_{3}\ \longrightarrow \ SiH_{3}F+SbCl_{3}} }$

性質

一氟矽烷是一種無色氣體。^[1] 一氟矽烷在96 K時為固體，具有空間群 P21/n的單斜晶體結構，並在常壓下直接轉變為氣態。 ^[5]