二氟矽烷

二氟矽烷是無機化合物，化學式為SiH₂F₂，是甲矽烷的兩個氫原子被氟取代而成的。

二氟矽烷
識別
CAS號	13824-36-7
PubChem	123331
ChemSpider	109934
SMILES	F[SiH2]F
性質
化學式	H2F2Si
摩爾質量	68.1 g·mol−1
外觀	無色氣體
熔點	−122 °C（151 K）
沸點	−77.8 °C（195 K）
熱力學
S⦵298K	262.12 J/mol·K[1]
若非註明，所有數據均出自標準狀態（25 ℃，100 kPa）下。

製備

二氟矽烷可由二氯矽烷和三氟化銻的鹵素交換反應製得。^[2][3]

3 SiH₂Cl₂ + 2 SbF₃ → 3 SiH₂F₂ + 2 SbCl₃

它也可以由四氟化矽和氫氣反應而成：

SiF₄ + 2 H₂ → SiH₂F₂ + 2 HF

當煤炭燃燒時，微量的二氟矽烷會因此產生。^[4]

性質

二氟矽烷是一種氣體，沸點 −77.8 °C，熔點 −122 °C。 它沒有顏色。 二氟矽烷的矽-氟鍵長度為 1.358 Å ，大於一氟矽烷但小於三氟矽烷。^[5]

反應

在放電情況下，它們的一個氫原子會脫離，形成 SiHF₂SiHF₂ 和氫氣。^[3]

2 SiH₂F₂ → SiHF₂SiHF₂ + H₂

在高溫下，二氟矽烷會歧化成一氟矽烷和三氟矽烷。^[5]

用處

二氟矽烷用於牙科清漆中，以防止蛀牙。 ^[6]

二氟矽烷也用於化學氣相沉積中，以沉積氮化矽膜。

參見

• 甲矽烷
• 一氟矽烷
• 三氟矽烷