三氟矽烷

三氟矽烷是一種無機化合物，可以由甲矽烷的三個氫原子被氟取代而成。

三氟矽烷
識別
CAS號	13465-71-9
PubChem	139462
SMILES	F[SiH](F)F
性質
化學式	SiHF3
莫耳質量	86.09 g·mol⁻¹
外觀	無色氣體 [1]
密度	3.52 g·L[1]
熔點	−131 °C[1]
沸點	−95 °C[1]
相關物質
相關化學品	甲矽烷 一氟矽烷 二氟矽烷 四氟化矽
若非註明，所有數據均出自標準狀態（25 ℃，100 kPa）下。

製備

三氟矽烷可以由三氯矽烷和三氟化銻、氟化鋅或四氟化鈦^[2] 反應而成。^[3][4]

${\displaystyle \mathrm {SiHCl_{3}+SbF_{3}\longrightarrow SiHF_{3}+SbCl_{3}} }$

${\displaystyle \mathrm {4\ SiHCl_{3}+3\ TiF_{4}\longrightarrow 4\ SiHF_{3}+3\ TiCl_{4}} }$

三氟矽烷也可以由二氟矽烷的熱分解取得。 ^[5] 這個反應是由Otto Ruff（德語：Otto Ruff）在20世紀初提出的。 ^[6]

性質

三氟矽烷是一種無色易燃氣體，會水解並在室溫下緩慢分解。當加熱到400℃時，它迅速分解為氫、矽和四氟化矽。它恢分解醇和醚，並降低濃硝酸的濃度。它與空氣反應，形成爆炸性氣體的混合物。 ^[2]