三氟氧磷

三氟氧磷，又稱磷醯氟，是一種有毒氣體，其化學式為POF₃。

三氟氧磷
IUPAC名 Phosphoryl trifluoride Phosphorus trifluoride oxide
別名	Phosphorus oxyfluoride Phosphoric trifluoride
識別
CAS號	13478-20-1  Y
PubChem	83516
ChemSpider	75351
SMILES	FP(F)(F)=O
InChI	1/F3OP/c1-5(2,3)4
InChIKey	FFUQCRZBKUBHQT-UHFFFAOYAJ
EINECS	236-776-4
性質
化學式	POF3
莫耳質量	103.9684 g·mol⁻¹
外觀	透明無色氣體
沸點	-39.7 °C（233 K）
溶解性（水）	反應
結構
分子構型	四面體
偶極矩	D
危險性
警示術語	R：R14, R22, R26, R35, R48/23
安全術語	S：S1/2, S7/8, S26, S36/37/39, S45
MSDS	ICSC 0190
歐盟編號	015-009-00-5
歐盟分類	T+ Xn C
NFPA 704	0 3 2 W
相關物質
相關化學品	硫代磷醯氟 三氯氧磷 磷醯溴 三氟化磷 五氟化磷
若非註明，所有數據均出自標準狀態（25 ℃，100 kPa）下。

反應

三氟氧磷與二甲胺反應生成二甲氨基磷醯氟(CH₃)₂NPOF₂、二氟磷酸鹽和六氟磷酸鹽。^[1]