Dichloorsilaan
chemische verbinding / Uit Wikipedia, de vrije encyclopedia
Dichlorosilaan (H2SiCl2), meestal afgekort tot DCS, is een kleurloze gasvormige anorganische siliciumverbinding met een karakteristieke geur. De stof heeft zeer ruime explosiegrenzen: 4,1 tot 99%.
Snelle feiten Structuurformule en molecuulmodel, Algemeen ...
Dichloorsilaan | ||||||
---|---|---|---|---|---|---|
Structuurformule en molecuulmodel | ||||||
Structuurformule van dichloorsilaan | ||||||
Molecuulmodel van dichloorsilaan | ||||||
Algemeen | ||||||
Molecuulformule | H2Cl2Si | |||||
IUPAC-naam | dichloorsilaan | |||||
Andere namen | DCS | |||||
Molmassa | 101,01 g/mol | |||||
SMILES | ClSiCl | |||||
CAS-nummer | 4109-96-0 | |||||
PubChem | 61330 | |||||
Wikidata | Q418556 | |||||
Waarschuwingen en veiligheidsmaatregelen | ||||||
H-zinnen | H330 - H220 - H314 - H280 | |||||
EUH-zinnen | EUH071 | |||||
P-zinnen | P260 - P280 - P210 - P304+P340 - P303+P361+P353 - P305+P351+P338 - P315 - P377 - P381 - P405 - P403 | |||||
VN-nummer | 2189 | |||||
Fysische eigenschappen | ||||||
Aggregatietoestand | gasvormig | |||||
Kleur | kleurloos | |||||
Dichtheid | (bij 8°C) 1,261 g/cm³ | |||||
Smeltpunt | −122 °C | |||||
Kookpunt | 8 °C | |||||
Vlampunt | −28 °C | |||||
Dampdruk | (bij 20°C) 163,6 Pa | |||||
Tenzij anders vermeld zijn standaardomstandigheden gebruikt (298,15 K of 25 °C, 1 bar). | ||||||
|
Sluiten
Dichloorsilaan wordt voornamelijk gebruikt in de productie van halfgeleiders op basis van siliciumnitride. Om dit te bereiken wordt dichloorsilaan gemengd met ammoniak (NH3) in een LPCVD kamer waarin vervolgens het siliciumnitride als een film gevormd wordt.
Een hoge verhouding DCS:NH3 (vaak 16:1), resulteert in nitridefilms met een lagere mechanische spanning.