| 代 | 氏名 | 在職期間 | 出身校・期 | 前職 | 後職 |
| 01 | 外山秀雄 (1等陸佐) | 1957年10月15日 - 1960年07月31日 | 陸士43期・ 陸大55期 | 陸上自衛隊化学教育隊長 | 陸上幕僚監部化学課長 |
| 02 | 藤井一美 (1等陸佐) | 1960年08月01日 - 1962年03月15日 | 陸士45期・ 陸大53期 | 陸上幕僚監部第5部学校班長 | 第10師団副師団長 兼 守山駐屯地司令 |
| 03 | 鈴木辰三郎 | 1962年3月16日 - 1966年03月15日 ※1963年07月01日 陸将補昇任 | 陸士45期・ 東京帝国大学 昭和15年卒 | 技術研究本部第1研究所 | 陸上幕僚監部付 →1966年06月30日 退職 |
| 04 | 安藤栄作 (1等陸佐) | 1966年03月16日 - 1967年07月01日 | 東京工業大学 | 陸上自衛隊化学学校副校長 兼 企画室長 | 退職 |
| 05 | 吉田大桂司 | 1967年07月17日 - 1970年03月15日 ※1968年07月01日 陸将補昇任 | 陸士49期・ 陸大59期 | 防衛研修所所員 兼 主任所員 | 陸上幕僚監部付 →1970年07月01日 退職 |
| 06 | 川崎松之助 | 1970年03月16日 - 1972年06月30日 ※1971年07月01日 陸将補昇任 | 陸士52期 | 陸上幕僚監部化学課長 | 退職 |
| 07 | 稜野邦雄 | 1972年07月01日 - 1974年03月15日 | 陸士54期 | 陸上幕僚監部化学課長 | 陸上幕僚監部付 →1974年06月30日 退職 |
| 08 | 續芳雄 | 1974年03月16日 - 1976年03月15日 | 大阪帝国大学 昭和19年卒 | 陸上幕僚監部化学課長 | 陸上幕僚監部付 →1976年07月01日 退職 |
| 09 | 竹澤力夫 | 1976年03月16日 - 1977年10月31日 | 軍官校2期[注 1] | 陸上幕僚監部化学課長 | 陸上幕僚監部付 →1978年01月01日 退職 |
| 10 | 重信正隆 | 1977年11月01日 - 1979年07月31日 ※1978年07月28日 陸将補昇任 | 陸士60期 | 陸上幕僚監部化学課長 | 陸上幕僚監部付 →1980年01月01日 退職 |
| 11 | 阿達憲 | 1979年08月01日 - 1981年06月30日 ※1980年07月01日 陸将補昇任 | 横浜工専 昭和24年卒 | 陸上自衛隊化学学校副校長 兼 企画室長 | 自衛隊大阪地方連絡部長 |
| 12 | 杉浦敏夫 | 1981年07月01日 - 1983年03月15日 ※1982年3月16日 陸将補昇任 | 熊幼48期・ 早稲田大学 昭和27年卒 | 陸上自衛隊関西補給処桂支処長 兼 総務部長 兼 桂駐屯地司令 | 装備開発実験隊長 |
| 13 | 蒲田孔明 | 1983年03月16日 - 1985年03月15日 | 学習院大学 昭和29年卒 | 東部方面総監部幕僚副長 | 陸上自衛隊関西地区補給処長 兼 宇治駐屯地司令 |
| 14 | 伊藤三雄 | 1985年03月16日 - 1986年03月16日 | 早稲田大学 昭和28年卒 | 陸上自衛隊幹部候補生学校副校長 兼 企画室長 | 陸上幕僚監部付 →1986年07月01日 退職 |
| 15 | 甘利富重 | 1986年03月17日 - 1988年07月06日 ※1986年08月01日 陸将補昇任 | 防大1期 | 陸上自衛隊化学学校副校長 兼 企画室長 | 退職 |
| 16 | 十河洋一郎 | 1988年07月07日 - 1990年03月15日 | 岡山大学 昭和32年卒[注 2] | 第1師団副師団長 兼 練馬駐屯地司令 | 陸上幕僚監部付 →1990年04月01日 退職 |
| 17 | 井上忠雄 | 1990年03月16日 - 1991年03月15日 | 防大3期 | 防衛医科大学校学生部長 | 陸上幕僚監部付 →1991年04月01日 退職 |
| 18 | 小川敏彦 | 1991年03月16日 - 1993年03月23日 | 防大6期 | 第6師団副師団長 兼 神町駐屯地司令 | 陸上自衛隊幹部学校副校長 兼 企画室長 |
| 19 | 内藤幸雄 | 1993年03月24日 - 1995年03月22日 | 防大6期 | 第12師団副師団長 兼 相馬原駐屯地司令 | 陸上幕僚監部付 →1995年04月01日 退職 |
| 20 | 安藤正武 | 1995年03月23日 - 1997年06月30日 | 防大7期 | 陸上自衛隊幹部学校教育部長 | 退職 |
| 21 | 森勝信 | 1997年07月01日 - 1999年07月08日 | 防大9期 | 第11師団副師団長 兼 真駒内駐屯地司令 | 退職 |
| 22 | 成田昌弘 | 1999年07月09日 - 2000年06月29日 | 東洋大学 昭和42年卒[注 3] | 陸上自衛隊東北補給処副処長 | 退職 |
| 23 | 山里洋介 | 2000年06月30日 - 2002年06月30日 | 熊本大学 昭和43年卒[注 4] | 北部方面総監部装備部長 | 退職 |
| 24 | 秋山一郎 | 2002年07月01日 - 2004年07月31日 | 防大15期 | 化学兵器禁止機関(OPCW) 技術事務局査察局長 | 化学兵器禁止機関(OPCW) 技術事務局査察局長 |
| 25 | 鬼塚隆志 | 2004年08月01日 - 2005年12月04日 | 防大16期 | 陸上自衛隊富士学校特科部長 | 退職 |
| 26 | 菊川俊広 | 2005年12月05日 - 2007年07月02日 | 防大19期 | 陸上自衛隊研究本部研究開発企画官 | 陸上自衛隊関西補給処長 兼 宇治駐屯地司令 |
| 27 | 岩城征昭 | 2007年07月03日 - 2009年12月06日 | 防大20期 | 中部方面後方支援隊長 兼 桂駐屯地司令 | 退職 |
| 28 | 山澤將人 | 2009年12月07日 - 2011年08月04日 | 防大23期 | 自衛隊福岡地方協力本部長 |
| 29 | 川上幸則 | 2011年08月05日 - 2013年08月21日 | 防大25期 | 陸上自衛隊関西補給処副処長 |
| 30 | 今浦勇紀 | 2013年08月22日 - 2015年12月17日 | 愛媛大学 昭和56年卒[注 5] | 陸上自衛隊関西補給処長 兼 宇治駐屯地司令 |
| 31 | 吉野俊二 | 2015年12月18日 - 2018年12月19日 | 防大31期 | 第15旅団副旅団長 兼 那覇駐屯地司令 | 陸上自衛隊九州補給処長 兼 目達原駐屯地司令 |
| 32 | 竹内綱太郎 | 2018年12月20日 - 2020年12月21日 | 防大33期 | 北部方面総監部装備部長 | 陸上自衛隊九州補給処長 兼 目達原駐屯地司令 |
| 33 | 平野邦治 | 2020年12月22日 - 2022年07月31日 | 防大34期 | 北部方面後方支援隊長 | 陸上自衛隊関西補給処長 兼 宇治駐屯地司令 |
| 34 | 榑林寿弘 | 2022年08月01日 - 2024年10月24日 | 北海学園大学 平成3年卒[注 6] | 北部方面総監部装備部長 | 陸上自衛隊関東補給処副処長 |
| 35 | 村上章 | 2024年10月25日 - | 防大37期 | 陸上自衛隊関東補給処副処長 | |